電子顯微鏡，簡稱電鏡，是根據(jù)電子光學原理，以電子束為照明源，通過電子流對樣品的透射或反射及電磁透鏡的多級放大后在熒光屏上成像的大型儀器。近年來，電鏡的研究和制造有了很大的發(fā)展：一方面，電鏡的分辨率不斷提高，通過電鏡，人們已經(jīng)能直接觀察到原子像;另一方面，除透射電鏡外，還發(fā)展了多種電鏡，如掃描電鏡、分析電鏡等。那么電子顯微鏡分為哪幾種呢？下面深視光谷小編來給大家介紹。

　　電子顯微鏡分為哪幾種：

　　1、掃描電子顯微鏡

　　掃描電鏡的應用較為普遍，掃描電子顯微鏡原理是：通過光柵掃描技術(shù)來產(chǎn)生標本的放大圖像。它引導聚焦的電子束穿過樣品的矩形區(qū)域，當電子束通過時會產(chǎn)生能量損失。該能量會被轉(zhuǎn)換成熱、光、二次電子等能量同時反向散射電子。此時通過軟件系統(tǒng)進行翻譯轉(zhuǎn)換后得到清晰的標本圖像信息。從成像原理分析，掃描電子顯微鏡的分辨率會比透射電子顯微鏡的分辨率稍差。但它的優(yōu)勢在于可以利用表面處理，創(chuàng)建大樣本的圖像，尺寸可達幾厘米，并且具有較大的景深。因此，來自 SEM 的圖像可以較好地表達樣品的真實形狀。 

　　2、透射電子顯微鏡

　　透射電子顯微鏡是電子顯微鏡的原始類型，它的主要原理是將高壓電子束引導至樣品以照亮樣品并產(chǎn)生樣品的放大圖像。由于透射電鏡具有原位觀察、高分辨顯像等功能，適宜觀察光學顯微鏡觀察不到的細微結(jié)構(gòu)。比如：細胞、組織分析、晶體結(jié)構(gòu)等。

　　透射電鏡顯微成像原理是：通過鎢絲電極的陰極發(fā)射電子束，再用陽極加速電子束，當電子束穿過標本時，它會發(fā)生散射，并提供標本微觀結(jié)構(gòu)的圖像，可以通過顯微鏡的物鏡觀察到。其中的靜電和電磁透鏡均有助于電子束的聚焦。

　　可以通過將圖像投影到熒光硫化鋅涂層屏幕上來檢查空間變化?？捎糜谟涗泩D像的另一種方法是將照相膠片放入電子束中，電子束將記錄圖像。也可以使用數(shù)碼相機在計算機屏幕上實時顯示圖像。球面像差傳統(tǒng)上限制了透射電子顯微鏡的分辨率。然而，近些年來的技術(shù)改進，可以通過球面像差的硬件校正來提高分辨率。因此，現(xiàn)在可以生成分辨率低于 0.5 埃、放大倍率超過 5000 萬倍的圖像。

　　3、反射電子顯微鏡

　　反射電子顯微鏡涉及檢測從被檢查的樣品反射的彈性散射電子束。反射高能電子衍射 (RHEED) 和反射高能損失光譜 (RHELS) 技術(shù)通常用于此類顯微鏡。由于電子顯微鏡的原理及用途也各不相同，所以應用領(lǐng)域也不同。比如：TEM透射電鏡廣泛應用于科研實驗室主要用于來研究細菌、組織切片和其他微生物。

　　另外，SEM 還經(jīng)常用于材料科學研究的測試和故障分析，檢查高溫下的超導體、合金強度和納米管，最終影響電子產(chǎn)品對航空航天業(yè)的影響。掃描電子顯微鏡還常用于法醫(yī)調(diào)查。比如：通過 SEM 所提供的放大倍數(shù)，來分析證據(jù)類型的來源，從而得出與法律目的相關(guān)的調(diào)查結(jié)論。

　　以上內(nèi)容就是對電子顯微鏡分為哪幾種的介紹了，電子顯微鏡是20世紀的重大科學技術(shù)發(fā)明，是利用電子與物質(zhì)作用所產(chǎn)生之訊號監(jiān)定微區(qū)域晶體結(jié)構(gòu)，微細組織，化學成份，化學鍵結(jié)和電子分布情況的電子光學裝置。與光學顯微鏡相比電子顯微鏡用電子束代替了可見光，用電磁透鏡代替了光學透鏡并使用熒光屏將肉眼不可見電子束成像。通常情況下，電子顯微鏡放大倍數(shù)比光學顯微鏡高得多。